浦項工科大のナノ素材製造法、国際発明大会で金賞

【浦項18日聯合】浦項工科大学（ポステック）は18日、新素材工学科の李奎哲（イ・ギュチョル）教授チームがスイス・ジュネーブで開催された2008国際発明大会に「ナノデバイスおよびこれを含むトランジスタの製造方法」の特許を出品し金賞を受賞したことを明らかにした。
　李教授チームが出品した特許は、シリコン基板にナノウォール、ナノチューブの形状とサイズを自由自在に調節して希望する位置に製造する技術と、これを利用した多様なナノ素材の製造方法に関するもの。触媒やフォトリソグラフィ工程を使わないため、ナノ構造物の汚染や表面損傷が全くないまま半導体ナノ素材や素子を大量生産することができる。

　特にこの技術は既存のシリコン基板工程をそのまま使い、少ない生産コストで大面積の工程が可能な上、超高集積半導体ナノ素子、フラットディスプレー、光結晶などを効率的に具現できるという点で現地の科学技術関係者らから好評を得たと、大学側は説明した。

　李教授は、同技術はナノ構造物の位置、サイズや形を非常に簡単で自由自在に調節できる半導体製造の基幹技術で、従来のフォトリソグラフィ工程の限界を克服し、高品質・高集積の光素子や電子素子の製造など多様な応用分野で活用可能だと述べた。

　李教授チームの研究結果は材料・ナノ分野の国際学術誌「アドバンスト・マテリアルズ」に掲載される予定だ。